荏原AAS100WN真空泵自主维护

• 作者: 曹珂 陈白冰 高晓生 黄晓许
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 自主维护 螺杆泵 主轴抱死 动平衡
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TB752
• 字数: 4623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.06.004

摘要

PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因.依据多年维修经验,编写了真空泵组自主维护工作流程与维护方法.维修后真空泵组可以稳定运行接近10000h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈白冰		1	0	0.0	0.0
2	黄晓许		1	0	0.0	0.0
3	曹珂		1	0	0.0	0.0
4	高晓生		2	2	1.0	1.0