大尺寸楔形腔制备技术研究

• 作者: 李姗姗 沈羽
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学陀螺 楔形腔 品质因数 耦合结构 封装
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 301-306
• 页数: 6页
• 分类号: O433|7230M
• 字数: 3577字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.02.005

摘要

谐振式光学陀螺凭借其体积小、可靠性高等独特优点,有望成为微小型化的高精度角速度测试仪器.从谐振腔对角速度传感影响原因进行分析,得出陀螺极限灵敏度与谐振腔品质因数Q和腔体直径D的乘积成正比.传统的楔形谐振腔加工采用MEMS工艺,流程简单,是制备大尺寸微腔的主要结构.然而,由于MEMS加工工艺技术的限制,微腔直径D越大,微腔结构的均匀性和表面粗糙度越难以保证,微米级的表面粗糙度极大的减小了微腔结构的Q值.因此,急需优化MEMS工艺技术来提高大尺寸微腔结构的表面粗糙度,提高光学微腔陀螺的极限灵敏度.通过对楔形腔制备工艺进行研究,制备楔形腔直径8 mm,表面粗糙度1 nm,Q值大于106,耦合效率大于95%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈羽	河南质量工程职业学院机电工程系	27	16	3.0	3.0
2	李姗姗	河南质量工程职业学院机电工程系	5	3	1.0	1.0