MEMS永磁薄膜磁场的设计与仿真

• 作者: 杜川
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 磁场 隧道磁阻陀螺 永磁体
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 286-291
• 页数: 6页
• 分类号: TH-39
• 字数: 3908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2018.02.002

摘要

由于在MEMS隧道磁阻微机械陀螺中需要一个较高磁场变化率的磁场,其检测模块主要是利用磁场的变化率对位移信息进行敏感,需要利用磁场的变化敏感质量块的位移,所以设计一个具有较高磁场变化率的磁场是十分有必要的.通过仿真分析,设计了一个MEMS隧道磁阻陀螺中应用的磁场,尺寸规格为500 μm×500 μm×20 μm,材料为钕铁硼,相对磁导率为1.18,表面剩磁为1.3T,充磁方向垂直于截面.在此设计规格下,永磁体选用面内方向作为检测方向,磁场的变化率最大可达到0.2 Oe/nm,并且在其他方向上磁场保持一定程度上的匀强,不对检测方向上的磁场产生干扰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜川	新乡学院机电工程学院	26	40	4.0	5.0