聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响

• 作者: 喻恒 张万里 彭斌 李凌 谢小伟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 声表面波 机电耦合系数 温度频率特性 硅酸镓镧(LGS)
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 页码范围: 880-883
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.06.018

摘要

该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响.结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大.SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移.研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
2	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
3	李凌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	68	5.0	8.0
4	谢小伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	喻恒	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0