非侵入式无线无源MEMS眼压传感器

• 作者: 何超超 王军波 陈健 陈德勇 魏秋旭
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 眼压传感器 无线无源 Parylene 聚二甲基硅氧烷
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 2787-2794
• 页数: 8页
• 分类号: TP212
• 字数: 3452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11999/JEIT180045

摘要

连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用,现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题.为了解决上述问题,该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器.该传感器为5层堆叠结构,采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层,其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容,形成C-L-C-L串联谐振电路.通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状,这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题.实验结果表明:该眼压传感器的中心谐振频率降低到了40 MHz,相对灵敏度达到1028.57 ppm/kPa,能够分辨出最小50 Pa(0.375 mmHg)的眼压值变化,为实现长期、连续性地监测眼压提供了技术支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健		115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	何超超		1	0	0.0	0.0
5	魏秋旭	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0