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摘要:
MEMS材料力学性能是MEMS的基础理论研究之一,组成MEMS微构件的许多性能都远远超出了宏观力学和物理规律的范畴,传统的检测技术以不能满足微机械的发展,研制成本低,精度高,使用简单的检测设备和方法是MEMS继续发展的关键.为满足系统对微弱信号的采集和处理,文章设计了通用的测控系统,集高速、高精度、高可靠性为一体.
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文献信息
篇名 基于DSP的微机械材料力学性能测控系统的设计
来源期刊 冶金与材料 学科
关键词 MEMS 测控系统 DSP 信号处理 伺服电机
年,卷(期) 2018,(6) 所属期刊栏目 试验研究
研究方向 页码范围 70,72
页数 2页 分类号
字数 2100字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-5183.2018.06.040
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵大伟 16 33 4.0 5.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
测控系统
DSP
信号处理
伺服电机
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
冶金与材料
双月刊
2096-4854
23-1602/TF
16开
黑龙江省哈尔滨市香坊区文昌街216号
1981
chi
出版文献量(篇)
3772
总下载数(次)
8
总被引数(次)
2802
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