激光刻蚀2μm铝/聚酰亚胺(PI)材料体系技术研究

• 作者: 任妮 任立庆 刘孝丽 周利成 熊玉卿 王瑞 钟浩
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光束刻蚀 铝/聚酰亚胺 图形形貌 扫描速度 应力
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 321-327
• 页数: 7页
• 分类号: TB333|TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.10.044

摘要

目的 研究对激光刻蚀图形形貌可能产生影响的几个参数,如激光功率、填充比等,优化激光束刻蚀制备2μm铝膜/PI的工作参数,提高刻蚀质量.方法 利用ANSYS软件对激光刻蚀2μm铝膜/PI过程中薄膜铝表面的能量传输及转化过程进行模拟,了解刻蚀形貌与单个脉冲的激光工艺参数的关系.根据模拟结果,使用LSP2000激光器,采用不同的激光输出功率和扫描方式、填充比等参数对样品进行刻蚀.利用扫描电镜等对激光刻蚀制备后的样品表面形貌进行研究,从而获得优化工艺参数.结果 采用波长为1064 nm的Nd:YAG激光器,利用蛇形扫描方式及45°方向填充,填充密度为0.03 mm,在激光功率5W、激光频率20 kHz、脉宽100 ns、光斑直径40 μm、激光扫描速度为565.7 mm/s的工艺参数下,刻蚀边界整齐.结论 纳秒刻蚀过程既有光热去除,也有应力去除,激光刻蚀工艺参数的优化在一定程度上改善了刻蚀边界质量,有利于提高激光刻蚀精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊玉卿	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	20	24	3.0	3.0
2	任立庆	榆林学院能源工程学院	6	0	0.0	0.0
3	任妮	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	2	3	1.0	1.0
4	周利成	榆林学院能源工程学院	6	0	0.0	0.0
5	刘孝丽	榆林学院能源工程学院	8	1	1.0	1.0
6	钟浩	榆林学院能源工程学院	10	10	2.0	3.0
7	王瑞	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	6	23	2.0	4.0