13.5nm放电Xe等离子体极紫外光源

• 作者: 徐强 李琦 王骐 赵永蓬
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线光学 极紫外光源 放电等离子体 Xe 极紫外光刻
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-10
• 页数: 10页
• 分类号: O434.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.1100001

摘要

搭建了极紫外光源实验装置,获得了中心波长为13.5 nm的Xe等离子体极紫外的辐射光谱.测量了极紫外辐射的时间特性,用多次箍缩理论解释了光脉冲的多峰结构.获得了主脉冲电流幅值、Xe气流量、陶瓷管内径、等离子体长度、辅助气体等实验参数对极紫外辐射强度的影响规律.搭建了重复频率为1 kHz的13.5 nm极紫外光源样机,介绍了样机的电源系统、放电系统、去碎屑系统和光收集系统的基本情况,并给出了光源样机的调试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李琦		89	677	15.0	24.0
2	王骐		256	2059	22.0	32.0
3	赵永蓬		48	101	6.0	7.0
4	徐强		23	518	11.0	22.0