关于TFT-LCD薄化中Polish压力管控的讨论

• 作者: 刘志强 李强 樊晓祯 白源 罗静 蒋波 谭珺琰
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: TFT-LCD 薄化 抛光 Zara
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 35-36
• 页数: 2页
• 字数: 1759字
• 语种: 中文

摘要

抛光为TFT-LCD产品薄化工艺的关键性制程,决定产品的表观品质,其制程因存在机械压力使产品有受压而产生Zara的风险,为控制Zara发生率,抛光制程的压力管控需进行更加精细的管控.本文通过对已有产品进行压力验证,发现抛光过程中,压力为引起Zara的主要因子.进一步分析抛光过程中的压力变化,引入克压概念,并通过受力分析,得到克压管控应为一个压力区间,在采用此种压力管控以后,产品的Zara不良得到有效管控.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭珺琰		1	0	0.0	0.0
2	白源		1	0	0.0	0.0
3	罗静		1	0	0.0	0.0
4	樊晓祯		1	0	0.0	0.0
5	李强		1	0	0.0	0.0
6	蒋波		1	0	0.0	0.0
7	刘志强		1	0	0.0	0.0