物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统与工艺方法

• 作者: 杨振辉 贾欢
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 控制系统 热障 涂层 沉积
• 年，卷（期）: 2018,（19）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 169-171
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 2622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0711.2018.19.076

摘要

本文涉及物理气相沉积制备叶片热障涂层的控制系统,包括顺序连接的工艺控制系统、高压电子束发生器、高压电子束,以及与工艺控制系统顺序连接的工艺动作控制器、工艺动作执行机构,还包括与高压电子束所作用的涂层靶材,用于在基体工件上生成涂层;所述工艺控制系统连有工件轴控制装置,所述工件轴控制装置与基体工件连接,以便于控制基体工件的旋转.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨振辉		2	1	1.0	1.0
2	贾欢		1	0	0.0	0.0