物理气相沉积TiN涂层结合力的研究现状与展望

• 作者: 刘建军 曹美蓉 魏仕勇
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 结合力 应力 中间薄膜层
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 27-29,35
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2009.04.006

摘要

物理气相沉积涂层质量指标主要通过涂层与基体结合强度来评定,因此,结合力决定了涂层是否可用.镀层的结合力强度既取决于膜/基界面的物理和化学相互作用,同时也取决于界面区的微观结构.本文阐述了薄膜中残余应力形成的原因,并分析了其引起的机理.综述了中间层Ti薄膜,梯度镀层及渗氮层与基体界面结合力的关系,从而提高界面结合强度.为合理设计PVD新型涂层提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏仕勇	江西省科学院应用物理研究所	35	114	6.0	9.0
2	曹美蓉	江西省科学院应用物理研究所	11	46	3.0	6.0
3	刘建军	江西省科学院应用物理研究所	2	32	2.0	2.0