用于微球球度测量的双SPM测头对准系统

• 作者: 丁鹏翔 方传智 王超群 芈梦 陈丽娟 黄强先
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描测头 差动测量 对准系统 小波分析 图像融合
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 新技术新仪器
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TB9|TH71|TH89
• 字数: 2554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11823/j.issn.1674-5795.2019.01.05

摘要

压电微音叉与钨探针结合,构成SPM(扫描探针显微镜)的扫描测头.将双测头对称置于微球的赤道圆截面处,构成微球球度差动测量系统.通过视觉引导系统对双测头进行粗对准,用视频显微镜对微球和测头分别聚焦,拍摄多组照片,然后对对准图像进行小波分析边缘检测及多图像融合处理,再将图像处理结果反馈到系统进行精确对准.在实际实验中,获得了该对准方法下微球赤道圆截面的测量结果,并分析了对准误差对系统测量结果带来的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先		46	319	9.0	15.0
2	陈丽娟		16	51	5.0	6.0
3	王超群		7	12	3.0	3.0
4	丁鹏翔		2	0	0.0	0.0
5	芈梦		1	0	0.0	0.0
6	方传智		1	0	0.0	0.0