静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能

• 作者: A. GILEWICZ A. S. KUPRIN B. WARCHOLINSKI I. V. KOLODIY
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: 氮化铬 电弧蒸发 相成分 粗糙度 硬度 磨损
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 799-810
• 页数: 12页
• 字数: 736字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(19)64990-3

摘要

采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层.研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响.分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对其力学性能进行研究,并采用球盘式摩擦计对涂层的摩擦磨损性能进行研究.结果表明,涂层沉积过程中氮气压力的增加将导致相变的发生,其顺序为Cr2N→Cr2N+CrN→CrN.与沉积在基体背面的涂层相比,沉积在基体正面的涂层的粗糙度更高,这主要是正面涂层中大颗粒的数量较多造成的.基体正面涂层的硬度和弹性模量也较高.研究还发现,涂层的附着力与磨损率呈反比关系.