复杂图案轮廓曝光版图的生成及工艺实现

• 作者: 周艳明 张轼 戴彭 林子豪 段辉高 石惠民 陈艺勤
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 跨尺度微纳制造 轮廓曝光 电子束曝光 边界追踪
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 584-593
• 页数: 10页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4791字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192703.0584

摘要

轮廓曝光技术可大幅提高跨尺度结构电子束直写的加工效率,但对于复杂图案,前期人工绘制曝光版图的过程费时费力.为了进一步提高版图生成效率,本文提出一种利用边界追踪算法提取数字图像轮廓并将它转换为曝光版图的方法.首先,通过图像灰度化以及Otsu自适应阈值分割法将图像转换为二值图像.接着,使用MATLAB bwboundaries边界追踪函数追踪二值图像边界.最后,利用GDS工具箱将图像边界转换为曝光版图.实验结果表明,本工作提出的方法可以有效地提取树叶、数字及动物等复杂图案边缘并将它们转换为版图进行后续曝光.通过制备“枫叶”图形证实利用本文方法生成的版图在轮廓曝光中可获得从纳米尺度到亚毫米尺度下的跨尺度、高保真度图形,通过制备50 μm和100 μm等不同大小、不同复杂程度的金结构证实了此方法在微纳制造中的通用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周艳明	湖南大学物理与微电子科学学院	22	92	5.0	8.0
2	段辉高	湖南大学机械与运载工程学院	3	1	1.0	1.0
3	林子豪	湖南大学物理与微电子科学学院	3	3	1.0	1.0
4	张轼	湖南大学机械与运载工程学院	2	1	1.0	1.0
5	石惠民	湖南大学物理与微电子科学学院	2	1	1.0	1.0
6	戴彭	湖南大学物理与微电子科学学院	1	1	1.0	1.0
7	陈艺勤	湖南大学机械与运载工程学院	1	1	1.0	1.0