多电源域高速IO的片上模块化ESD防护器件

• 作者: 孙康明 孟丽娅 李婷
• 来源期刊: 河南理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ESD防护 模块化 单片集成 多电源域 高速IO
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 机电与计算机工程
• 页码范围: 117-122
• 页数: 6页
• 分类号: TN453
• 字数: 3333字
• 语种: 中文

摘要

提出一种新颖的片上静电泄放(ESD)防护器件,该器件由N阱/P阱二极管、基于high-K金属栅CMOS工艺形成的二极管、寄生的晶闸管(SCR)和内嵌的电源钳位电路等几部分构成,具有多条ESD通路,能实现对单个IO管脚的PS-Mode、NS-Mode、PD-Mode、ND-Mode及DS-Mode共5种ESD应力模式的保护.本文分析了high-K工艺下各种SCR模块的结构和工作机制,通过合理配置这些SCR,该器件的一些关键ESD参数如触发电压、保持电压等能根据具体需要而调整,以满足片上系统(SoC)的多电源域的应用情况,利用传输线脉冲(TLP)、快速TLP和C-V等方式全方位验证了该器件的性能.结果 表明,紧凑的结构、较少的互连线、较低的寄生电容、快速的响应能力使设计的器件适合高速IO接口电路的ESD防护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟丽娅	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	34	172	6.0	12.0
2	李婷		11	16	3.0	4.0
3	孙康明		6	9	2.0	3.0