调制比对MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜微动磨损性能影响

• 作者: 代明江 刘凤美 李琪 熊敏 韦春贝
• 来源期刊: 金属功能材料
• 关键词: 调制比 微动磨损 固体润滑膜 微动磨痕 多层膜
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2018068

摘要

为了改善钛合金表面的抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在钛合金(TC4)表面沉积了不同调制比(2∶1、1∶1、1∶2)的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层固体润滑膜(调制周期均为2μm).利用扫描电镜、划痕仪、XRD、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机、3D表面轮廓仪对多层膜的形貌、结合力、物相、硬度、抗微动磨损性能、磨痕形貌进行分析测试.结果 表明,所制备的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜交替结构清晰,结构致密,在1 2 000个微动循环周期后,测得MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜在调制比为工艺2∶1、1∶1时,多层膜的室温平均微动系数分别为0.071、0.065,其最终磨损总量分别为0.087 mm3、0.045 mm3,多层膜具有良好的抗微动磨损效果.