扫描探针氧化刻蚀技术在微纳器件制备中的应用

• 作者: 于曦 田丽贤 胡文平 雷圣宾
• 来源期刊: 中国科学（化学）
• 关键词: 原子力显微镜 扫描探针氧化刻蚀技术 微纳器件制备
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 455-469
• 页数: 15页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N032018-00159

摘要

扫描探针刻蚀技术主要利用原子力显微镜针尖和基底间的电、机械或热相互作用进行纳米级表面的成像、操纵和修饰,是一种简便、快速、精确的纳米结构制备技术.其中,扫描探针氧化刻蚀技术利用针尖与样品表面间形成的高度局域化水桥,通过电化学反应在材料表面制备微纳尺度结构,已被广泛用于制备纳米级功能化图案和微纳器件.本文对扫描探针氧化刻蚀过程的机理及其影响因素,如电压、针尖-样品间作用力、持续时间、相对湿度和扫描速度等进行了详细介绍,总结和梳理了利用这一技术制备微纳器件方面的工作,指出了其优点和存在的问题,并对其未来发展进行了展望.