MEMS谐振式加速度计技术发展的研究

• 作者: 高红卫 魏宏波
• 来源期刊: 宝鸡文理学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式加速度计 MEMS 谐振器
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 75-80
• 页数: 6页
• 分类号: TH112
• 字数: 4419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13467/j.cnki.jbuns.2019.03.008

摘要

目的 深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导.方法 通过收集大量资料及数据分析,论述M EM S谐振式加速度计的国内外技术研究现状,归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题.结果 与结论 针对M EM S谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术,提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高M EM S谐振式加速度计性能的必要途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏宏波	宝鸡文理学院机械工程学院	49	131	7.0	9.0
2	高红卫	宝鸡文理学院机械工程学院	13	10	2.0	3.0