聚合物绝缘子表面微孔阵列构筑

• 作者: 刘文元 柯昌凤 段荔 罗维熙 霍艳坤
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 沿面闪络 有机玻璃 微孔阵列 激光刻蚀
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 332-337
• 页数: 6页
• 分类号: TM215.3
• 字数: 2796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201902.0332

摘要

针对表面微孔阵列的构筑方法与微孔阵列参数对绝缘子真空沿面闪络性能的影响,设计了2种阵列结构,利用激光旋转微加工的方法在圆柱形有机玻璃绝缘子侧面进行了2种阵列的构筑,同时控制激光作用参数分别获得直径为300 μm与200 μm的2种表面微孔,最终得到4种微孔阵列结构.扫描电镜(SEM)与三维轮廓仪分析表明,通过激光旋转微加工的方法,实现了直径分别为300 μtm与200 μm,深度为50 μm左右的微孔点阵构筑.沿面闪络测试表明,表面微孔构筑能够有效地提升沿面闪络电压(实验中闪络电压提升50％以上),微孔直径越小提升效果越好;在同种微孔直径下,点阵结构对闪络电压无明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文元		27	384	12.0	19.0
2	柯昌凤		14	29	3.0	5.0
3	段荔		9	23	2.0	4.0
4	罗维熙		11	41	4.0	6.0
5	霍艳坤		5	1	1.0	1.0