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电射流掩膜加工内壁微结构的仿真与实验研究
电射流掩膜加工内壁微结构的仿真与实验研究
作者:
吴明
温亮
邓宇
郭钟宁
陈晓磊
陈朝大
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电解加工
扇状射流
掩模板
内壁结构
摘要:
针对内壁微结构加工技术中机械振动加工、激光加工等均为逐点加工,加工效率低,以及由机械或高热主导的材料去除过程存在"翻边"和重铸层现象,导致加工质量差等问题,创新性地提出基于球状阴极喷嘴的电射流掩膜电解加工方法加工内壁微结构.通过设计阴极喷嘴的结构使其形成具有一定跨度的扇状射流并利用数控运动平台实现阴极喷嘴的左右摆动扫描待加工曲面,提高了加工效率及精度;采用活动柔性掩模板代替传统的光刻胶掩膜,解决了传统掩膜制备工艺难以适应曲面结构的问题.利用comsol多物理场仿真软件对阴极喷嘴的流场进行优化分析,并进行一系列的验证实验.经实验表明,该方法能实现高效、高精度电解加工内壁微结构,达到了设计要求,验证了其可行性.
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文献信息
篇名
电射流掩膜加工内壁微结构的仿真与实验研究
来源期刊
现代制造工程
学科
工学
关键词
电解加工
扇状射流
掩模板
内壁结构
年,卷(期)
2019,(6)
所属期刊栏目
试验研究
研究方向
页码范围
1-4,49
页数
5页
分类号
TH16
字数
3229字
语种
中文
DOI
10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.06.001
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
电解加工
扇状射流
掩模板
内壁结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代制造工程
主办单位:
北京机械工程学会
北京市机械工业局技术开发研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-3133
CN:
11-4659/TH
开本:
大16开
出版地:
北京市西城区核桃园西街36号301A
邮发代号:
2-431
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
9080
总下载数(次)
14
总被引数(次)
50123
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