不同晶体取向单晶锗的力学性能

• 作者: 余证 刘宁 刘浩 杨晓京
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶锗 纳米压痕 塑性变形 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TG115.5+1
• 字数: 4468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.013

摘要

为了研究微纳米尺度下单晶锗的力学特性,采用纳米压痕仪对单晶锗(100)(110)和(111)晶面进行了纳米压痕实验,并通过原子力显微镜对材料表面进行了观测.根据单晶锗各晶面的位移-载荷曲线,对单晶锗各晶面的弹性回复率、硬度、弹性模量与压入深度之间的关系进行了分析.结果 表明:单晶锗在加载过程中分别经历了弹性变形、塑性变形和脆性变形三个阶段.当压入深度超过500 nm时,加载曲线上有突进点产生;当压入深度超过100 nm时,卸载曲线上有突退点产生.单晶锗的残余压痕形貌表现为凸起状,表明单晶锗具有较低的加工硬化趋势.当压入深度达到100 nm时,单晶锗表现出明显的尺寸效应,且单晶锗(111)晶面具有最低硬度和弹性模量值.表明相对于其他两个晶面,单晶锗(111)晶面具有更好的塑性变形能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨晓京	昆明理工大学机电工程学院	115	997	17.0	28.0
2	刘宁	昆明理工大学机电工程学院	26	44	4.0	5.0
3	刘浩	昆明理工大学机电工程学院	8	13	2.0	3.0
4	余证	昆明理工大学机电工程学院	5	0	0.0	0.0