硅基金字塔结构光控太赫兹调制器

• 作者: 张怀武 文岐业 朱韵樵 杨青慧 申朝阳 金浓
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹波 金字塔结构 调制器 光控
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TN761.1
• 字数: 3708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201902.0195

摘要

提出一种硅基金字塔结构光控太赫兹波调制器.通过化学刻蚀方法在高阻硅基底形成微米级的金字塔结构,研究该结构与高阻硅片对激光的反射率及对太赫兹的调制情况.实验表明,金字塔结构可有效降低激光反射率,提升激光利用率,并且通过增加太赫兹波调制面积,达到显著增强太赫兹波的调制效果,其调制深度达到90％以上.该硅基金字塔结构光控调制器可在极低的激光功率下工作,具有宽带、大幅度调制的特点,在太赫兹成像领域具有重要应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张怀武	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	294	2211	20.0	32.0
2	文岐业	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	23	148	5.0	11.0
3	杨青慧	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	36	167	7.0	11.0
4	朱韵樵	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	1	1.0	1.0
5	金浓	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	1	1.0	1.0
6	申朝阳	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	1	1.0	1.0