基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析

• 作者: 刘建民 王迪 陈仲武 高津平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硫酸与双氧水混合溶液 氟塑料卡盘 形变 结构优化 热力耦合
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 55-60
• 页数: 6页
• 分类号: TN605
• 字数: 2839字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.04.014

摘要

由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较小,为保证该类卡盘的良好性能,采用有限元方法,通过数值模拟研究影响其形变因素,并在此基础上,提出了四种优化结构,能有效地提升卡盘性能;与金属相比,氟塑料的线性膨胀系数较大,采用热力耦合方法,研究氟塑料卡盘在高温下形变,比如PTFE(聚四氟乙烯)材质卡盘的最大径向位移在设计温度下约增加34.5％.因此,为保证氟塑料卡盘性能,温度不可忽略.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王迪	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	2	1.0	1.0
2	陈仲武	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	10	2.0	3.0
3	刘建民	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0
4	高津平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	1	1.0	1.0