AISI 316L表面氮化复合类金刚石涂层的相结构及摩擦学性能

• 作者: 吴法宇 杨利 杨永杰 滕越 郭媛媛 黄振
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: DLC涂层 扩展奥氏体 相结构 摩擦学性能 膜基结合强度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 111-118
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190316001

摘要

为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能.采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能.结果 表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其中100℃时,硬度和结合力分别提高25％和175％,综合性能最好.沉积DLC涂层的过程中,氮化层中氮原子因扩散而重新分布,使氮化层的厚度增加,硬度梯度减缓,更有利于基体与DLC涂层间的过渡.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨永杰	辽宁科技大学表面工程中心	5	0	0.0	0.0
2	吴法宇	辽宁科技大学表面工程中心	14	10	2.0	2.0
3	滕越	辽宁科技大学表面工程中心	4	0	0.0	0.0
4	郭媛媛	辽宁科技大学表面工程中心	16	7	2.0	2.0
5	杨利	辽宁科技大学表面工程中心	4	0	0.0	0.0
6	黄振	辽宁科技大学表面工程中心	3	0	0.0	0.0