热弹性结构阻尼对微谐振器品质因子的影响

• 作者: 冯晶晶 孟思 张琪昌 郝淑英 高芬
• 来源期刊: 天津理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振器 空气阻尼 热弹性结构阻尼 温度特性 有限元分析
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 19-24,41
• 页数: 7页
• 分类号: TN751.2
• 字数: 4479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2019.02.005

摘要

为研究环境温度对微谐振器固有频率和品质因子的影响, 采用有限元分析的方法研究了温度对单根微梁和微谐振器固有频率的影响, 发现温度对弹性模量的软化作用对固有频率有很大的影响, 应综合考虑温度应力和弹性模量软化对固有频率的影响;提出了推导微谐振器等效热弹性结构阻尼的力学模型, 通过对支撑梁侧板的巧妙处理导出了微谐振器热弹性阻尼系数与单根微梁的热弹性阻尼系数关系式, 为利用Zener标准模型来计算微谐振器的热弹性阻尼及品质因子提供了可能;将有限元分析结果与解析分析方法结合研究了环境温度对微谐振器品质因子的影响规律.