用于电流传感的声表面波磁致伸缩效应

• 作者: 周庆莉 李鹤 汪承灏 王文 薛蓄峰 贾雅娜
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 庆祝李启虎先生80华诞
• 页码范围: 756-764
• 页数: 9页
• 语种: 中文

摘要

利用声表面波(SAW)磁致伸缩效应可以实现一种快速、高灵敏度的电流检测方法,但磁致伸缩薄膜内部矫顽力导致了明显的磁滞误差.磁致伸缩薄膜的栅阵化设计可以减小磁致伸缩时薄膜内部矫顽力,抑制磁滞现象,从而实现高灵敏和低迟滞误差的SAW电流检测.结合有限元和耦合模理论对沉积铁钴(FeCo)薄膜栅阵的声表面波电流传感器中的磁致伸缩效应进行分析,对传感响应进行仿真,确定优化的传感结构参数.为验证理论分析,实验研制了频率为150 MHz的声表面波电流传感器件,并结合差分振荡电路及亥姆霍兹线圈,建立传感器测试系统.实验结果表明,磁致伸缩薄膜的栅阵设计大幅降低了迟滞误差,并显著提升了传感器灵敏度.