一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测 试方法

• 作者: 侯影 傅剑宇 刘瑞文 刘超 陈大鹏 魏德波
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 红外热探测器 二极管 电学等效测试 热学参数
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 798-804
• 页数: 7页
• 分类号: TN216
• 字数: 5626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.06.017

摘要

红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能.精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义.二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一.基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点.并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性.