三种不同沉积工艺制备CrAlN涂层的性能

• 作者: 孙树峰 王新太 王进 金烨堂 顾宁
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrAlN涂层 阴极多弧离子镀 沉积工艺 涂层性能
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 材料表面改性
• 页码范围: 110-116
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2019-0175

摘要

采用阴极多5F27离子镀膜技术,制备了3种不同沉积工艺的CrAlN涂层.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、工具显微镜、球痕仪、洛式硬度计、HV显微硬度计、电化学工作站等研究了涂层的显微形貌、力学性能和耐腐蚀性.结果表明:采用氩离子刻蚀工艺沉积CrN打底层的CrAlN涂层表面质量改善明显,厚度均匀波动小,硬度高,膜基结合力强,摩擦系数小,排屑能力强,以及具有较高的耐腐蚀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王进	青岛理工大学机械与汽车工程学院	54	262	9.0	13.0
2	顾宁	青岛理工大学机械与汽车工程学院	4	4	1.0	2.0
3	王新太	青岛理工大学机械与汽车工程学院	4	4	1.0	2.0
4	孙树峰	青岛理工大学机械与汽车工程学院	19	31	4.0	4.0
5	金烨堂	青岛理工大学机械与汽车工程学院	3	4	1.0	2.0