基于硅纳米线检测的微加速度计设计与噪声分析

• 作者: 唐军 李孟委 王宾 程壑 蒋孝勇
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 硅纳米线 噪声分析 灵敏度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2379字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2019.01.015

摘要

利用硅纳米线压阻系数比压敏电阻压阻系数高的特性,设计了一种基于硅纳米线的加速度计.首先对硅纳米线微加速度计结构参数进行了设计,利用ANSYS软件对微加速度计结构进行静态分析;其次利用COMSOL对硅纳米线压阻系数进行了仿真计算;最后对其总灵敏度进行计算,并对微加速度计的噪声进行了分析计算.仿真结果表明,该款硅纳米线微加速度计的理论灵敏度达到35.09 mV/g,带宽为5 784 Hz,噪声为4.7μg/√Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐军	中北大学仪器与电子学院	64	114	5.0	9.0
2	程壑	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	0	0.0	0.0
6	蒋孝勇	中北大学仪器与电子学院	9	42	4.0	6.0
7	李孟委	中北大学电子测试技术国家重点实验室	30	75	5.0	7.0
16	王宾	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	4	1.0	2.0