基于电子凸轮技术的多线切割机排线方法研究

• 作者: 吴学宾 符瑶
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电子凸轮 多线切割机 排线
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.006

摘要

分析了金刚石多线切割机的排线原理,介绍了一种基于电子凸轮技术的多线切割机排线方法,该方法已在设备上进行了验证.探讨了该设计方法的通用性,并为其他线切割设备借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	符瑶	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	0	0.0	0.0
2	吴学宾	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	6	1.0	2.0