AZO三维薄膜的制备与表征

• 作者: 叶童 吴祥明 尹航 张影 李颜岩 王艳雪 田睿
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 水热法 AZO 三维薄膜
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 361-364,396
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2019.05.008

摘要

室温下使用磁控溅射粉末靶在玻璃基板上制备AZO(Al:ZnO)二维薄膜;将此薄膜作为基底,利用水热法生长不同掺Al量的一维AZO纳米棒阵列,构建三维结构薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和霍尔效应仪对薄膜的微观结构和光电性能进行了表征.结果表明:Al掺杂使二维ZnO薄膜载流子浓度升高、迁移率降低,整体上电阻率下降.一维AZO纳米棒的不同掺铝量可以改变其晶体结构、直径和密集程度,进而可有效调控三维AZO薄膜的光电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹航	辽宁科技大学材料与冶金学院	18	13	2.0	3.0
2	叶童	辽宁科技大学材料与冶金学院	2	0	0.0	0.0
3	田睿		4	0	0.0	0.0
4	李颜岩		2	0	0.0	0.0
5	王艳雪	辽宁科技大学材料与冶金学院	3	0	0.0	0.0
6	吴祥明	辽宁科技大学材料与冶金学院	1	0	0.0	0.0
7	张影	辽宁科技大学材料与冶金学院	1	0	0.0	0.0