碳化硅添加对氮化硅转化为碳化硅晶粒形貌的影响

• 作者: 周诗聪 季家友 徐慢 朱丽 梁欣 陈常连 黄志良
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 碳化硅 晶粒形貌 重结晶
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2019.01.009

摘要

以氮化硅(Si3N4)、石墨为原料,碳化硅(SiC)为添加剂,利用Si3N4转化法制备出形貌变化的等轴状和长柱状SiC晶粒,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及能量色散X射线谱对产物的结构与微观形貌进行了表征,重点研究了SiC添加量对SiC形貌的影响及其影响机理.结果表明,SiC的添加有助于Si3N4转化为α-SiC,并影响其形貌和尺寸.随着SiC添加量的增加,制得的SiC晶粒由长柱状转变为等轴状,晶粒的尺寸也急剧减小.高温条件下,Si3N4首先分解为硅蒸气和氮气,硅蒸气又与石墨发生气-固反应生成小晶粒的SiC,继而发生重结晶.碳化硅的添加导致晶粒缺陷也增多,由于气态硅蒸气可在晶粒缺陷处重结晶,使SiC晶粒的取向生长得到抑制,促进了等轴状SiC晶粒的生成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志良		87	317	9.0	12.0
2	陈常连		26	82	5.0	7.0
3	徐慢		31	58	4.0	6.0
4	季家友		27	94	6.0	8.0
5	朱丽		3	0	0.0	0.0
6	梁欣		2	0	0.0	0.0
7	周诗聪		2	0	0.0	0.0