小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿

• 作者: 吴斌 康杰虎 王航
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双频激光干涉仪 360°标定 小型谐波转台
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2207-2214
• 页数: 8页
• 分类号: TB922
• 字数: 3566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192710.2207

摘要

为了解决应用于关节型三维激光传感器的小型谐波转台角度定位精度标定的问题,提出了一种基于Renishaw双频激光干涉仪的单自由度小型谐波转台旋转角度测量和补偿方法.首先依据干涉仪角度测量原理和光路调节方法,建立了测量光路系统,分析了回转台装配误差对角度测量精度的影响并进行了有效调整,而后提出了小型谐波转台360°范围角度标定的实验方案,最后通过曲线拟合的方法分析了转台转角误差的测量数据,总结转台转角误差随位置改变的变化规律,并将误差补偿函数嵌入控制器中,对转台的每次运动进行实时有效补偿.实验结果表明:使用该标定补偿方法能够将小型谐波转台的定位精度提高85％以上,补偿后的定位误差小于10”.采用该方法能够对小型谐波转台进行小间隔360°标定,标定后转台满足激光传感器空间精确定位的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴斌	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	61	707	15.0	24.0
2	王航	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	康杰虎	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	2	0	0.0	0.0