二氯二氢硅综合应用研究进展

• 作者: 付绪光 吕加南 陈其国
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 二氯二氢硅 反歧化反应 三氯氢硅 硅烷 多晶硅 氮化硅薄膜 二氧化硅薄膜
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2019.05.011

摘要

详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈其国		13	87	5.0	9.0
7	付绪光		1	0	0.0	0.0
11	吕加南		1	0	0.0	0.0