射频功率发生器的功率检测装置研究

• 作者: 孙小孟 崔晨 张庆钊 李勇滔 林亭廷 武燕婷 赵丽莉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 射频功率发生器 功率检测装置 检测输出电压
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN622
• 字数: 2842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.002

摘要

射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性.系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路:经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范围0～1 500 W,对应的检测输出电压范围0.2～4.65 V,该检测输出电压与实际输出功率基本呈线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张庆钊	中国科学院微电子研究所	5	13	2.0	3.0
2	李勇滔	中国科学院微电子研究所	14	31	3.0	4.0
3	崔晨		3	2	1.0	1.0
4	孙小孟	中国科学院微电子研究所	3	2	1.0	1.0
5	林亭廷	中国科学院微电子研究所	3	2	1.0	1.0
6	赵丽莉	中国科学院微电子研究所	4	2	1.0	1.0
7	武燕婷	中国科学院微电子研究所	1	0	0.0	0.0