基于共振光隧穿效应的加速度传感器

• 作者: 白刚 菅傲群 邹璐
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器技术 共振光隧穿效应 加速度传感器 灵敏度 谐响应
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 光通信与光信息技术
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1+4
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.01.009

摘要

为了设计新型的加速度传感器,将共振光隧穿结构应用于传感元件,利用COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析,搭建了实验平台,验证了共振光隧穿原理.结果表明,基于共振光隧穿效应结构的加速传感器在1 00Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下,灵敏度可达到6.7dB/g.该传感器小巧轻便、结构简单,且具有较高的灵敏度,这为光学传感器的研究提供了新的方法和思路,具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白刚	太原理工大学微纳系统研究中心	2	0	0.0	0.0
5	邹璐	太原理工大学微纳系统研究中心	2	0	0.0	0.0
9	菅傲群	太原理工大学微纳系统研究中心	7	3	1.0	1.0