空气耦合电容式微超声换能器设计

• 作者: 张慧 曾周末 李志 郑冠儒
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 116-124
• 页数: 9页
• 语种: 中文

摘要

建立了空气耦合电容式微超声换能器(CMUT)的理论方法,分析CMUT各个结构参数对其性能参数的影响.根据理论分析结果结合无损检测应用背景设计了一个由16个阵元构成的CMUT阵列,并采用SOI晶圆键合工艺制作.该阵列每个阵元包含16个圆形CMUT敏感单元,敏感单元的半径400 μm,中心频率230 kHz.建立CMUT发射和接收瞬态仿真模型分别得到CMUT发射声压和接收灵敏度与激励电压的关系,并通过实验测试验证该仿真模型的准确性.最后通过实验对CMUT与商用压电空耦超声换能器的性能进行对比,实验结果表明CMUT的发射声压和接收灵敏度与商用换能器达到相同数量级,并且能够成功激发和接收铝合金板中Ao模态Lamb波.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张慧		29	170	8.0	12.0
2	曾周末		132	1019	18.0	24.0
3	李志		14	11	2.0	3.0
4	郑冠儒		3	2	1.0	1.0