立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

• 作者: 万真真 刘庆学 杨永旺 王永清 申玉民
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 化学
• 关键词: 微型光谱仪 激发源 电感耦合等离子体 立体螺旋线圈 工作参数
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 8-14
• 页数: 7页
• 分类号: O657
• 字数: 3679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.010507

摘要

介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈.实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15～20W,最佳工作气压为50～100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响.采用射频功率为15W、氩气工作气压为60 Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万真真	河北大学电子信息工程学院	7	14	2.0	3.0
2	王永清	河北大学电子信息工程学院	19	82	5.0	8.0
3	杨永旺	河北大学电子信息工程学院	1	0	0.0	0.0
4	申玉民		2	0	0.0	0.0
5	刘庆学		1	0	0.0	0.0