大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测

• 作者: 何宇航 刘昂 李强 柴立群 石琦凯 许乔 高波
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 子孔径拼接 相关匹配 功率谱密度 波前测量
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 139-147
• 页数: 9页
• 分类号: TN247|O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0204008

摘要

为实现大口径光学元件波前功率谱密度 (PSD) 的高精度、低成本检测, 提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法.推导了波前PSD的计算方法, 提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法, 分析了拼接干涉检测的误差来源.对拼接检测算法进行了仿真验证, 结果表明, 拼接检测的波前畸变峰谷值 (dpv) 与PSD的均方根值 (PRMS) 的相对偏差分别为1.2％和0.1％.采用口径为620 mm×450 mm光学元件开展了5次拼接检测实验, 比较了拼接检测与全口径直接检测结果, 两者分布一致, dpv偏差不大于0.012λ (λ=632.8 nm), PRMS偏差不大于0.03 nm, 表明该算法稳定可靠, 可实现大口径光学元件波前PSD的拼接检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李强		54	152	8.0	10.0
2	许乔		10	87	6.0	9.0
3	石琦凯		5	12	2.0	3.0
4	柴立群		7	9	2.0	3.0
5	刘昂		2	0	0.0	0.0
6	何宇航		2	0	0.0	0.0
7	高波		5	1	1.0	1.0