基于MEMS工艺的集成爆炸箔起爆器研究

• 作者: 周文渊 朱朋 李建 李鸿高 沈瑞琪 郭宁 陈楷
• 来源期刊: 上海航天
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS工艺 集成爆炸箔起爆器 最佳设计参数 性能表征
• 年，卷（期）: 2019,（S1）
• 页码范围: 120-126
• 页数: 7页
• 分类号: TJ450.5

摘要

针对传统爆炸箔起爆器功耗高、体积大等问题,对基于MEMS工艺制备的低功耗、小型化集成爆炸箔起爆器进行研究。从仿真设计、工艺制备和试验表征3个方面对集成爆炸箔起爆器进行了较为系统的研究。试验结果表明:运用MEMS工艺制备的集成爆炸箔起爆器可成功起爆HNS炸药,采用PC/Cu复合飞片与SU-8光刻胶等新型材料集成制备爆炸箔起爆器是可行的。