不锈钢表面溅射沉积氮化钛薄膜的结构与性能分析

• 作者: 罗学萍 赖奇
• 来源期刊: 钢铁钒钛
• 学科: 工学
• 关键词: 201无镍不锈钢 磁控溅射 氮化钛 薄膜 择优取向 显微硬度
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 钒钛材料与应用
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TF823|TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.7513/j.issn.1004-7638.2019.06.011

摘要

采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在不锈钢表面溅射氮化钛薄膜.采用分析天平、SEM、XRD和显微硬度计等对薄膜的质量增加率、微观结构、外观形貌和显微硬度进行研究.结果 发现随着溅射时间增加,薄膜的质量增大,厚度逐渐增加.XRD分析表明,TiN薄膜晶体结构为面心立方结构.溅射沉积氮化钛膜具有择优取向性:随溅射时间增加,由混合晶面生长向(111)择优取向变化;随着溅射时间增加,显微硬度总体呈上升的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖奇	攀枝花学院钒钛材料与复合技术省级高校重点实验室	46	255	10.0	14.0
2	罗学萍	攀枝花学院钒钛材料与复合技术省级高校重点实验室	9	33	2.0	5.0