不锈钢基底上TiO2薄膜的制备和结构分析

• 作者: 张洪涛 李秀燕 王鹤峰
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: TiO2 不锈钢 离子渗镀 热氧化
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 材料工程与应用力学
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TB333
• 语种: 中文

摘要

为了在不锈钢表面形成良好膜基结合强度且成分结构可控的TiO2薄膜,首先利用双层辉光离子渗镀技术在不锈钢表面形成渗Ti层,渗金属温度为950℃,然后将渗钛试样置于真空管式炉在200～750 ℃温度范围内进行热氧化从而形成不同结构的TiO2薄膜.重点就氧化温度对所形成TiO2薄膜的组织成分和相结构的影响进行了研究.结果表明:不同温度下不锈钢表面均形成了致密、均匀的钛氧化物薄膜,且Ti、O元素在不锈钢基底上形成了扩散层,随着温度升高,扩散层厚度增大.XRD分析结果表明:在温度低于300℃时,生成相为TiO和锐钛矿TiO2的混晶;在300～600 ℃的温度范围,为单一锐钛矿TiO2结构;在650℃以上时,晶型转变为金红石结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洪涛	太原理工大学理学院	5	12	3.0	3.0
2	李秀燕	太原理工大学理学院	35	160	6.0	12.0
3	王鹤峰	太原理工大学理学院	24	64	5.0	7.0