一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力

• 作者: 庞旭 戴生伢 柳祝平 王东海 高长有 黄振进
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石晶棒 “一步法”退火 翘曲度 弯曲度 透过率
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1860-1862
• 页数: 3页
• 分类号: O77+9
• 字数: 1234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.10.014

摘要

温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力.为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理.使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本.现提出了“一步法”退火工艺,即在1750～ 1800℃空气气氛中直接进行高温退火.蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100％和70％.蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳祝平		4	12	2.0	3.0
2	王东海	同济大学物理科学与工程学院	4	1	1.0	1.0
3	戴生伢		1	0	0.0	0.0
4	黄振进		1	0	0.0	0.0
5	高长有		1	0	0.0	0.0
6	庞旭		1	0	0.0	0.0