基于FPGA的晶振膜厚控制系统设计

• 作者: 朱文武
• 来源期刊: 佳木斯大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: FPGA 石英晶体监控 测量膜厚 PID控制
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 电气工程与信息技术
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 2269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1402.2019.01.020

摘要

通过以CYCLONE EP2C35 FPGA芯片为平台,有机地结合嵌入式软件设计和光学镀膜技术,运用石英晶体监控法,通过采集石英晶体监控的信号数据,采用测量膜厚算法和PID控制算法进行综合处理,在Nios II IDE开发环境集成的C/OS-II嵌入式操作系统下,设计薄膜厚度监测控制系统的镀膜监控菜单显示界面,实现基于FPGA的薄膜厚度监测控制系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱文武	安徽机电职业技术学院电气工程系	11	10	2.0	2.0