引线键合系统超声换能器的设计与仿真分析

• 作者: 冯武卫 张玉莲 瞿子博 贾森君
• 来源期刊: 机械设计与制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 引线键合 超声换能器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 先进设计与制造技术
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TH136
• 字数: 3307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2019.08.003

摘要

超声换能器是引线键合系统的核心部件.给出了引线键合系统超声换能器的压电换能器和变幅杆的设计方法,设计了一款80 kHz集成电路引线键合用超声换能器,运用ANSYS软件建立其有限元模型并进行了动力学仿真.瞬态分析结果显示,换能器在受电压激励振动后至少要经过500个周期才能进入正常键合工作状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉莲	浙江海洋大学东海科学技术学院	69	272	8.0	12.0
2	冯武卫	浙江海洋大学船舶与机电工程学院	24	49	4.0	6.0
6	贾森君		12	14	3.0	3.0
7	瞿子博	浙江海洋大学船舶与机电工程学院	4	0	0.0	0.0