靶丸X射线光学厚度的精密检测

• 作者: 唐兴 王宗伟 王琦 马小军 高党忠
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测量 激光聚变 X射线光学厚度 光路调校 靶丸
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1039-1044
• 页数: 6页
• 分类号: O434.12
• 字数: 3114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192705.1039

摘要

为了精密检测靶丸X射线光学厚度均匀性,建立了基于精密轴系和光纤阵列探测的靶丸X射线光学厚度检测装置,开展了光学厚度轮廓仪光路精密调校技术的研究,应用白光共焦光谱技术和光学显微成像技术,解决了气浮转台精密调整、X射线光路对中的难题,实现了对塑料靶丸壳层缺陷、表面质量、壁厚均匀性、壳层材料成分均匀性等多种耦合扰动综合效应的表征.对系统的稳定性进行了测试,实验结果表明,该系统的测量重复性偏差可基本控制在0.01％ 以内,空间分辨率约为100μm,满足IC F靶物理研究对靶丸X射线光学厚度扰动的高精度检测需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马小军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	36	107	5.0	8.0
2	高党忠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	44	290	11.0	15.0
3	王宗伟	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	1	1.0	1.0
4	唐兴	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	7	29	3.0	5.0
5	王琦	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	1	1.0	1.0