一种电容薄膜真空计检测电路的设计

• 作者: 康恒 景玉鹏 李勇滔 李超波
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 电容薄膜真空计 电容检测 非线性 负反馈 补偿
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TP216
• 字数: 2018字
• 语种: 中文

摘要

针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路.该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿.仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27％降低到0.662％.实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4％,电路稳定性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	景玉鹏	中国科学院微电子研究所	10	115	7.0	10.0
3	李超波	中国科学院微电子研究所	31	120	7.0	9.0
5	李勇滔	中国科学院微电子研究所	14	31	3.0	4.0
7	康恒	中国科学院微电子研究所	2	1	1.0	1.0