光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

• 作者: 卢增雄 张清洋 杨光华 苏佳妮 陈进新 马敬 齐威 齐月静
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 光谱共焦位移传感器 色散物镜 线性度 公差分析
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 211-217
• 页数: 7页
• 分类号: TH741|O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0704009

摘要

根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构.利用Zemax光学设计软件对色散物镜的初始结构进行优化和公差分析.结果 表明:在450～650 nm波长范围内,各波长弥散斑均远小于艾里斑,色散物镜测量范围可达1.05 mm,轴向色散与波长之间的线性判定系数R2达0.997,理论分辨率可达105 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张清洋	中国科学院微电子研究所	4	12	2.0	3.0
2	齐月静	中国科学院微电子研究所	10	7	2.0	2.0
3	卢增雄	中国科学院微电子研究所	9	0	0.0	0.0
4	苏佳妮	中国科学院微电子研究所	4	0	0.0	0.0
5	杨光华	中国科学院微电子研究所	8	91	4.0	8.0
6	陈进新	中国科学院微电子研究所	8	23	2.0	4.0
7	齐威	中国科学院微电子研究所	2	0	0.0	0.0
8	马敬	中国科学院微电子研究所	2	0	0.0	0.0