全自动半导体清洗设备上下料技术方案研究

• 作者: 王文丽 祝福生 秦亚奇 袁恋 赵宝君 郭立刚
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 高洁净 清洗设备 上下料
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 58-59,66
• 页数: 3页
• 分类号: TH6
• 字数: 3452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2019.10.027

摘要

随着IC制造行业对晶圆表面高洁净的要求,半导体清洗设备向高自动化、多功能化的方向发展,这就对设备上下料技术方案提出了新的要求和挑战.文章结合IC制造行业中全自动半导体清洗设备的发展现状,对其上下料技术方案进行了详细介绍与研究.阐明了目前上下料技术的发展现状及方向.可以为未来高端清洗设备的上下料技术方案提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦亚奇	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
2	赵宝君	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	2	1.0	1.0
3	祝福生	中国电子科技集团公司第四十五研究所	15	29	3.0	5.0
4	王文丽	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	9	2.0	3.0
5	郭立刚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	0	0.0	0.0
6	袁恋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	0	0.0	0.0