基于奇偶函数和Fourier级数的三球面法绝对检验

• 作者: 孔璐 杨光 王云涛 胡晨辉 陈磊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 光干涉测试 绝对检验 三球面法 奇偶函数法 误差分析
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 214-222
• 页数: 9页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1104001

摘要

为获得三维面形的绝对分布,提出一种基于奇偶函数和Fourier级数的三球面面形重建方法.该方法在传统三球面法的测量基础上将测试面旋转90°后再次测量,将待测面面形分解为奇偶函数形式的正交基函数,并对于各正交基函数分别求解.利用实际面形进行算法仿真,面形残差均方根值(RMS)达到1.5λ/1000.将本文三球面法与两球面法、随机球法作比较,残差RMS最大为1.99 nm.针对实验中机构的旋转、平移、倾斜、离焦误差等进行量化分析,最大误差为0.90 nm.本文实现了球面三维面形绝对分布的检测,为多个球面镜的同步全口径检测提供了一种途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊		133	991	16.0	23.0
2	孔璐		3	0	0.0	0.0
3	王云涛		3	0	0.0	0.0
4	杨光		4	0	0.0	0.0
5	胡晨辉		2	0	0.0	0.0